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EUV 優點
2020年4月22日—在台積電法說會上,EUV是近年不斷提到的微影製程名稱,也是現今能在晶片上畫出最精密線路的光罩技術,究竟微影技術是什麼?在神秘的半導體無塵室如何進行 ...,除了更少的光子暴露在光刻膠上之外,EUV光刻膠也吸收更少的光子。...EUV光刻膠爭奪,未來...
三星電子開始量產基於EUV的7奈米LPP製程
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